Fortschritte in der Nanoporentechnologie: Eine bahnbrechende Entwicklung von imec

Im Rahmen der Internationalen Konferenz über elektronische Geräte IEEE (IEDM 2025) hat imec, ein weltweit führendes Forschungs- und Innovationszentrum für fortschrittliche Halbleitertechnologie, erstmals erfolgreich die Herstellung von festen Nanoporen auf Wafer-Ebene durch Extreme Ultraviolet Lithographie (EUV) demonstriert. Feste Nanoporen entwickeln…









